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南京馳順科技發(fā)展有限公司
當(dāng)前位置:產(chǎn)品中心 > 高溫?zé)Y(jié)爐 > CVD管式爐
名稱: TF1200CVD管式爐
型號: TF1200
簡介: TF1200CVD系統(tǒng)產(chǎn)品主要針對在真空或者保護(hù)氣氛下對樣品的熱處理
,優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng),可保證實(shí)驗數(shù)據(jù)的可靠性;產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質(zhì)優(yōu)良,爐管兩端不銹鋼法蘭密封
,可在真空下工作
,法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口
,可通入保護(hù)氣體
,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量
CVD可編程30段
  • 技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)品視頻
  • 實(shí)驗案例
  • 客戶案例

TF1200CVD系統(tǒng)產(chǎn)品主要針對在真空或者保護(hù)氣氛下對樣品的熱處理,優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)

,可保證實(shí)驗數(shù)據(jù)的可靠性
;產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質(zhì)優(yōu)良
,爐管兩端不銹鋼法蘭密封
,可在真空下工作,法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口
,可通入保護(hù)氣體
,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

1

、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料
,新型拼裝結(jié)構(gòu),高溫不變形
、堅固耐用

2

、 發(fā)熱體采用高溫合金絲,可承受負(fù)荷大
,穩(wěn)定且使用壽命長

3

、 爐管采用石英管,兩端不銹鋼法蘭設(shè)計簡單
、合理
、易拆卸,方便進(jìn)出被燒結(jié)樣品

4

、 升溫速度快
,從室溫升到1000攝氏度,一般需要15-30分鐘

5

、 采用智能PID溫控儀表
,控溫精度高,沖溫小
,具有溫度補(bǔ)償和溫度校正功能
,精度為±1℃

6、 控溫儀表具有程序功能

,可設(shè)定升溫曲線
,可編程序30段

7、 一體式結(jié)構(gòu)

,出色的外觀設(shè)計
,美觀
、大方

8、 電子元器件均采用知名產(chǎn)品

,帶有漏電保護(hù)功能

9

、 本機(jī)對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號,并自動完成保護(hù)動作

10

、當(dāng)儀表程序設(shè)定完成后
,只要按下運(yùn)行按鈕
,接下來的工作會自動完成

11

、可選配大屏幕無紙記錄儀,實(shí)現(xiàn)對升溫曲線的實(shí)時記錄
,并帶有存儲卡可對實(shí)驗數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印

12

、可選配氣體質(zhì)量流量計,通入氣體可數(shù)字精確控制


技術(shù)參數(shù)

型號

TF1200-25-12

TF1200-40-12

TF1200-60-12

TF1200-80-12

TF1200-100-12

TF1200-120-12

爐管尺寸

Φ25x900mm

Φ40x900mm

Φ60x900mm

Φ80x900mm

Φ100x900mm

Φ120x900mm

額定溫度

1200

工作溫度

1100

加熱區(qū)尺寸

300mm

電源電壓

220V/1.8KW

220V/1.8KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/2.6KW

220V/5KW

加熱元件

HRE合金電阻絲

爐膛材料

濕法真空抽濾成型制備的多晶無機(jī)氧化鋁陶瓷纖維材料

爐管材料

石英管

控溫精度

±1

測溫元件

N型熱電偶

溫控儀表

智能微電腦PID溫控儀表

SCR/SSR控制
PID參數(shù)自整定功能;可編程序30個時段
,程序升溫
、程序保溫、程序降溫

升溫速度

1-25/min自由調(diào)節(jié)

爐體結(jié)構(gòu)

爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu)

,爐膛開合式
;雙層外殼,空氣循環(huán)隔熱

密封性能

爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭

,配套高溫 PTFE 墊圈
,可在真空下進(jìn)行工作, 密封真空度≤0.0001pa

氣氛性能

法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口

,壓力表裝在金屬法蘭上
,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量,可通入氮?dú)?div id="jfovm50" class="index-wrap">、氬氣
、氫氣等保護(hù)氣體

真空系統(tǒng)

配套獨(dú)立的真空系統(tǒng),系統(tǒng)內(nèi)配有1臺雙極旋片式真空泵和數(shù)字真空計

,包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件
,系統(tǒng)真空度≤5pa,還可以選擇分子泵機(jī)組

氣路系統(tǒng)

配套獨(dú)立的氣路系統(tǒng)

,系統(tǒng)有三路浮子流量計組成
,有混氣室,可單進(jìn)單出也可三路氣體混氣后進(jìn)入管式爐系統(tǒng)
,浮子流量計量程:60-600ml/min
;可選擇自動質(zhì)量流量計系統(tǒng)
,控制精度±1.5%FS,重復(fù)精度±0.2%FS
,量程:一路0-100SCCM
,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM

設(shè)備保護(hù)

模塊化控制

,對工作過程中的超溫
、斷偶會發(fā)出聲光報警信號,并自動完成保護(hù)動作

人員保護(hù)

在設(shè)備上裝有空開斷路器

,如發(fā)生短路漏電情況時會自動彈開
,能保護(hù)設(shè)備和操作人員

標(biāo)準(zhǔn)配置

1、爐體一臺  2

、溫度控制器一臺   3
、電源線3   4、熱電偶一支  5
、說明書一份6
、爐鉤一把  7、高溫手套一雙    8
、管堵二個   9
、密封法蘭一套

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